《日本半導體後段製程概論》
《日本半導體後段製程概論》
半導體後段製程(Backend Manufacturing) ,又稱back end of line(BEOL),包含了晶圓測試、切割、封裝和最終測試等步驟,這些步驟在晶圓製造完成後進行,目的是將晶圓上的晶片轉化為可使用的產品
晶圓測試(Wafer Test): 在晶圓上對每個晶片進行電性測試,確認其功能是否正常
晶圓切割(Wafer Dicing): 將測試通過的晶圓切割成單個晶片
封裝(Packaging): 將切割後的晶片固定在封裝基板上,並進行線路連接,保護晶片並方便後續的應用
當摩爾定律逐漸失效,晶片微縮的效益趨緩,半導體產業的競爭焦點正快速從前段製程(微縮)轉向「後段製程」——也就是晶片整合與封裝
日本的半導體封裝技術正受到關注,在半導體組件的微細化日益困難的背景下,通過把半導體晶片堆疊起來提升性能的「3D堆疊技術」的重要性正在提高
位於茨城縣筑波市的産業綜合研究所的無塵室,成為力爭開發新半導體技術的日台聯盟的基地,台積電(TSMC)聚集揖斐電(IBIDEN;4062.JP)、芝浦機電(6590.JP)、JSR等擁有較高技術實力的設備和材料廠商,在日本啟動最尖端堆疊技術的聯合開發
台積電在2021年二月,在日本建立研發基地,要實現最尖端的3D堆疊技術,即使強如台積電,也離不開日本企業的技術
在切割晶片的切割機領域,迪思科(DISCO;6146.JP)擁有七成市佔,在把晶片和基板連接起來的組裝設備領域,芝浦機電能提供尖端封裝的設備
封裝半導體晶片的高性能封裝基板,是揖斐電和新光電氣工業扮演領頭羊的舞臺;昭和電工(4004.JP)材料涉足封裝所需的各種製程材料
借助3D堆疊和感測器融合等微細化以外方法來提升性能的「超越摩爾定律(More than Moore)」的思路正受到關注,東京理科大學研究所教授若林秀樹表示:「後製程的附加值今後將提高,日本能發揮潛力。」
東京大學教授黑田忠廣表示:如果後製程的技術提升,「還能應用於屬於前製程的晶圓加工階段」。他期待後製程成為日本在半導體製造領域東山再起的立足點
日本在半導體後製程技術上,正朝著簡化流程、降低成本和提升性能的方向發展。 具體來說,信越化學(4063.JP)工業開發出可簡化半導體後製程的製造設備,該設備利用雷射在基板上蝕刻佈線,減少了對光刻設備的需求,從而降低了初期投資。 同時,這項技術也能縮小連接線寬,使晶片可以直接連接到封裝基板上,減少中間工序,降低製造成本
日本的測試設備企業愛德萬測試(ADVANTEST,6857.JP)的優勢是,高效檢測高密度晶片的設備,在半導體檢測設備領域,愛德萬測試和美國泰瑞達(Teradyne)兩家公司佔據著全球8成份額。長期以來,雙方的份額一直不相上下,但自生成式AI開始受到關注的2022年前後起,愛德萬測試佔據了優勢。2023年,愛德萬測試的份額為5成,泰瑞達為3成,差距拉大
但日企由於規模小,進行行業重組是提高競爭力的選項之一。日本能否借助與台積電的共同研究提高後製程的國際競爭力,同時開闢「超越摩爾定律」的新市場?具有優勢的後製程,或許將成為日本重振半導體的旗幟
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